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大型步入式恒温恒湿试验箱半导体行业用

大型步入式恒温恒湿试验箱半导体行业用专为半导体行业设计，用于芯片封装、晶圆制造设备、集成电路模块等大型半导体产品的环境可靠性测试

  • 产品型号：WTH-A
  • 厂商性质：生产厂家
  • 更新时间：2025-08-01
  • 访  问  量：44
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详细介绍

生产厂家广东皓天检测仪器有限公司拥有专业的生产研发技术，一站式周到服务。作为一家专注于试验设备产品的大型仪器制造商，皓天设备致力于为消费者提供技术、品质的优秀产品。

大型步入式恒温恒湿试验箱半导体行业用

产品性能

采用无尘级风道设计，气流经 HEPA 高效过滤后层流输送（风速 0.3~0.5m/s），避免尘埃污染半导体器件。温湿度过渡响应时间≤5 分钟，在 - 40℃~125℃循环测试中，温度超调量≤0.5℃。设备可连续运行 5000 小时，测试数据重复性，确保芯片漏电率、封装应力等关键参数检测的精准性。


大型步入式恒温恒湿试验箱半导体行业用


大型步入式恒温恒湿试验箱半导体行业用

核心优势

  1. 超高控制精度：温度波动度达 ±0.2℃，湿度控制精度 ±1% RH，满足半导体器件对微环境变化的严苛敏感需求。

  1. 无尘环境兼容：内部采用 316L 不锈钢镜面内胆，配备高效除尘系统，符合半导体行业无尘测试标准。

  1. 抗干扰设计：电气系统采用电磁屏蔽技术，避免温湿度控制模块对半导体器件的电磁干扰，测试过程中信号噪声≤-90dB。


大型步入式恒温恒湿试验箱半导体行业用


产品优势

  1. 行业定制化：工作室可集成防静电地面（电阻 10⁶~10⁹Ω）、氮气保护接口，适配半导体产品的特殊测试需求。

  1. 能效优化：采用变频制冷压缩机与热回收技术，在 85℃/85% RH 工况下能耗较传统机型降低 30%，符合半导体行业绿色生产要求。

  1. 安全冗余：配备气体泄漏检测、超温联锁保护、紧急断电系统，通过 SEMI S2 安全认证，保障高价值半导体器件的测试安全。

  2. 大型步入式恒温恒湿试验箱半导体行业用

用途

专为半导体行业设计，用于芯片封装、晶圆制造设备、集成电路模块等大型半导体产品的环境可靠性测试。可模拟无尘车间温湿度波动、运输过程气候、长期运行高湿环境等场景，评估半导体器件的电学性能稳定性、材料耐老化性及封装密封性，满足 JEDEC JESD22-A101、IPC-9701 等行业标准，为半导体产品的研发、量产质检提供数据支撑。

大型步入式恒温恒湿试验箱半导体行业用

技术参数

  • 温度范围：-70℃~150℃（覆盖半导体全生命周期测试温区）；

  • 湿度范围：5%~95% RH，波动度 ±1% RH，均匀性≤2% RH；

  • 温度波动度 ±0.2℃，均匀性≤1℃；

  • 工作室容积：30~300m³（可容纳完整晶圆传送系统）；

  • 升降温速率：0.1~5℃/min（支持步进式精密调节）；

  • 洁净等级：Class 1000（内部尘埃粒子≤3520 particles/m³@0.5μm）；

  • 电源：380V/50Hz（配备稳压电源，电压波动≤±1%）。


大型步入式恒温恒湿试验箱半导体行业用


温度控制系统
采用半导体级 PLC 控制系统，搭配 10 英寸防菌触摸屏，支持 2000 段可程式运行，内置 JEDEC 标准测试模板。搭载 16 点分布式铂金电阻传感器（精度 ±0.05℃），结合 PID + 模糊控制算法，实现纳米级温度调节响应。系统具备与 MES 系统对接功能，支持实时数据加密上传、远程监控及测试流程追溯，满足半导体行业数据合规要求。



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