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半导体高低温交变湿热试验室

半导体高低温交变湿热试验室该试验室的应用,为半导体器件从研发到量产的全流程可靠性验证提供了关键保障,助力提升半导体产品的质量与寿命。

  • 产品型号:THC-030PF
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2025-07-21
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生产厂家广东皓天检测仪器有限公司拥有专业的生产研发技术,一站式周到服务。作为一家专注于试验设备产品的大型仪器制造商,皓天设备致力于为消费者提供技术、品质的优秀产品。

半导体高低温交变湿热试验室

专为芯片、晶圆等半导体器件的环境可靠性测试设计,其核心系统针对半导体的精密特性优化,为半导体产业提供精准的温湿度模拟环境。

加湿系统采用洁净蒸汽加湿技术,通过超纯水瞬时汽化产生无菌无杂质的蒸汽,避免传统加湿方式可能引入的微粒污染。系统配备 0.1μm 级过滤器,确保加湿蒸汽纯度达 Class 1 级洁净标准,同时采用闭环湿度控制,响应速度≤5 秒,可在 10%~98% RH 范围内精准调节,满足半导体器件对湿度波动的严苛要求。

半导体高低温交变湿热试验室


半导体高低温交变湿热试验室

工作原理

基于微环境精准调控,试验室内部形成垂直层流气流,通过顶部高效过滤器实现 ISO 5 级(Class 100)洁净度。温湿度传感器以 10Hz 频率采集数据,传输至 AI 自适应控制系统,实时调节加热、制冷与加湿模块。当测试程序启动后,系统按预设曲线动态平衡能量输出:低温阶段通过复叠式制冷系统维持稳定低温,高温阶段启用分布式微加热单元,加湿系统则根据湿度偏差释放洁净蒸汽,确保半导体器件处于设定的温湿度环境中。

半导体高低温交变湿热试验室


产品详情方面,试验室采用不锈钢无缝焊接内胆,圆角设计避免微粒积聚,内壁粗糙度 Ra≤0.8μm,便于清洁维护。配备独立的洁净风循环系统,每小时换气次数达 60 次以上,确保内部洁净度稳定。测试区与操作区分隔,通过机械手或传递窗实现样品转运,减少外部环境干扰,容积从 1m³ 到 50m³ 不等,可适配晶圆片、芯片封装等不同尺寸的半导体产品。

用途覆盖半导体全产业链,可进行芯片的高低温循环测试(-55℃~125℃),验证其在温度下的电性能稳定性;开展湿热老化试验(85℃/85% RH),评估封装材料的耐湿性与引线键合强度;还能模拟海拔高度与温湿度的复合环境,测试航天用半导体器件的耐环境能力。

半导体高低温交变湿热试验室




技术参数表现,温度范围 - 70℃~150℃,控制精度 ±0.1℃,温场均匀性≤±0.5℃;湿度控制精度 ±1.5% RH,波动度≤±1% RH。设备支持 1000 组测试程序存储,每组可设置 1000 段温湿度曲线,升温速率 0.1~10℃/min、降温速率 0.1~5℃/min 可调,满足 JEDEC、AEC-Q100 等半导体行业标准。

半导体高低温交变湿热试验室

产品优势显著,相比通用试验室,其洁净加湿系统杜绝微粒与离子污染,避免半导体器件因污染导致的测试失效;±0.1℃的温度控制精度可精准捕捉芯片的温敏特性变化,测试数据重复性达 99.5%;配备半导体专用数据接口,可与探针台、测试机联动,实现电性能与环境参数的同步采集;采用低振动设计,设备运行时振幅≤0.1μm,避免振动对精密半导体器件的影响。




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