欢迎来到广东皓天检测仪器有限公司!
Cassification
产品展示/ Product display
联系电话:0769-81085066
生产厂家广东皓天检测仪器有限公司拥有专业的生产研发技术,一站式周到服务。作为一家专注于试验设备产品的大型仪器制造商,皓天设备致力于为消费者提供技术、品质的优秀产品。
半导体高低温交变湿热试验室
专为芯片、晶圆等半导体器件的环境可靠性测试设计,其核心系统针对半导体的精密特性优化,为半导体产业提供精准的温湿度模拟环境。
半导体高低温交变湿热试验室
工作原理
基于微环境精准调控,试验室内部形成垂直层流气流,通过顶部高效过滤器实现 ISO 5 级(Class 100)洁净度。温湿度传感器以 10Hz 频率采集数据,传输至 AI 自适应控制系统,实时调节加热、制冷与加湿模块。当测试程序启动后,系统按预设曲线动态平衡能量输出:低温阶段通过复叠式制冷系统维持稳定低温,高温阶段启用分布式微加热单元,加湿系统则根据湿度偏差释放洁净蒸汽,确保半导体器件处于设定的温湿度环境中。
产品详情方面,试验室采用不锈钢无缝焊接内胆,圆角设计避免微粒积聚,内壁粗糙度 Ra≤0.8μm,便于清洁维护。配备独立的洁净风循环系统,每小时换气次数达 60 次以上,确保内部洁净度稳定。测试区与操作区分隔,通过机械手或传递窗实现样品转运,减少外部环境干扰,容积从 1m³ 到 50m³ 不等,可适配晶圆片、芯片封装等不同尺寸的半导体产品。
技术参数表现,温度范围 - 70℃~150℃,控制精度 ±0.1℃,温场均匀性≤±0.5℃;湿度控制精度 ±1.5% RH,波动度≤±1% RH。设备支持 1000 组测试程序存储,每组可设置 1000 段温湿度曲线,升温速率 0.1~10℃/min、降温速率 0.1~5℃/min 可调,满足 JEDEC、AEC-Q100 等半导体行业标准。
产品优势显著,相比通用试验室,其洁净加湿系统杜绝微粒与离子污染,避免半导体器件因污染导致的测试失效;±0.1℃的温度控制精度可精准捕捉芯片的温敏特性变化,测试数据重复性达 99.5%;配备半导体专用数据接口,可与探针台、测试机联动,实现电性能与环境参数的同步采集;采用低振动设计,设备运行时振幅≤0.1μm,避免振动对精密半导体器件的影响。
P
PRODUCTSN
NEWSA
ABOUT USC
CODE联系电话:15876446198
联系邮箱:19175269088@163.com
公司地址:广东省东莞市常平镇常平中信路101号1号楼102室
Copyright © 2025 广东皓天检测仪器有限公司版权所有 备案号:粤ICP备2024233531号 技术支持:仪表网